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各種不同的膜厚計測儀器的區(qū)別。
1.破壞式膜厚計:利用鉆石刀將底材連同膜厚截斷,然后將斷面置于光學顥微鏡檢查,其斷面斜度有30度斜角,60度斜角及45度斜角的分別，亦有采用90度切斷檢查者。
2.光學橢圓儀:其原理是利用分光的技術,由于不同材料有不同折射率的特性 ,因此求得膜厚,其儀點為精度高,不論膜厚薄至數(shù) n m ,也可以量取,但是缺點是價格較貴。