測量精度為±0.1μm。提供亞微米管理環(huán)境。
使用專有技術(shù)的砧座的平穩(wěn)移動可以實現(xiàn)高精度的測量。
在測量范圍內(nèi)的任何位置上測量力恒定。可以防止因工件尺寸差異而導(dǎo)致的測量誤差。 此外，客戶可以輕松更改測量力。